风流老熟女一区二区三区,97精品人人A片免费看,丰腴妖艳饥渴50岁岳,中国女人内谢69XXXXX

咨詢熱線

13584134215

當(dāng)前位置:首頁  >  新聞中心  >  一文搞懂勻膠機(jī)旋涂儀的工作原理

一文搞懂勻膠機(jī)旋涂儀的工作原理

更新日期:2022-08-12      點(diǎn)擊次數(shù):2086
  勻膠機(jī)旋涂儀廣泛應(yīng)用于MEMS微加工、生物、材料等領(lǐng)域。它可用于制備厚度小于10nm的薄膜。它也常用于厚度約為1-100微米的光刻膠沉積層的光刻工藝中。許多平面基板材料可用于涂層,如半導(dǎo)體硅片、載玻片、晶片、基板、ITO導(dǎo)電玻璃等。
 
  勻膠機(jī)旋涂儀的工作原理:
 
  通過在晶片支架上產(chǎn)生負(fù)壓,待旋涂的基材吸附在晶片架上,膠水滴在基材表面。通過精確調(diào)節(jié)電機(jī)的轉(zhuǎn)速來改變離心力。同時(shí),滴膠裝置控制膠水的流速,以達(dá)到制備薄膜所需的厚度。此外,涂膜厚度還取決于旋涂時(shí)間、膠液粘度、涂膜溫度和濕度等環(huán)境因素。
 
  靜態(tài)滴加是簡單地將光刻膠滴到靜態(tài)襯底表面的中心,滴加量為1-10ml。滴膠量應(yīng)根據(jù)光致抗蝕劑的粘度和基材的尺寸確定。如果粘度高或基材大,通常需要滴更多的膠水,以確保在高速旋轉(zhuǎn)階段整個(gè)基材都涂上膠水。
 
  動(dòng)態(tài)滴下方法是在基板以低速旋轉(zhuǎn)時(shí)滴下光致抗蝕劑。“動(dòng)態(tài)”功能是使光刻膠易于在基板上擴(kuò)散,減少光刻膠的浪費(fèi)。動(dòng)態(tài)滴涂法可以在沒有大量光刻膠的情況下濕潤整個(gè)基板表面。特別是當(dāng)光致抗蝕劑或基板本身的潤濕性不好時(shí),動(dòng)態(tài)滴膠特別適用,不會(huì)產(chǎn)生針孔。
 
  滴膠后,下一步是高速旋轉(zhuǎn)。光致抗蝕劑層被減薄以達(dá)到最終所需的膜厚度。旋轉(zhuǎn)速度的選擇還取決于光致抗蝕劑的性能(包括粘度、溶劑揮發(fā)速度、固體含量和表面張力等)和基底的尺寸??焖傩D(zhuǎn)的時(shí)間范圍從10秒到幾分鐘。均勻化的速度和時(shí)間通常決定最終膜的厚度。
江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司
  • 聯(lián)系人:陸燕
  • 地址:江蘇江陰金山路201號(hào)創(chuàng)智產(chǎn)業(yè)園A座五樓南
  • 郵箱:lu.yan@leboscience.cn
關(guān)注我們

歡迎您關(guān)注我們的微信公眾號(hào)了解更多信息

掃一掃
關(guān)注我們
版權(quán)所有©2024江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司All Rights Reserved    備案號(hào):蘇ICP備17018030號(hào)-2    sitemap.xml    總訪問量:162838
管理登陸    技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)    

聯(lián)


又黄又爽又猛1000部A片| 国产无套粉嫩白浆内射在线观看| 成在人线AV无码免费| 老太做爰XXXXX视频| 欧美老熟妇乱人伦人妻| 少妇下蹲露大唇无遮挡| 丰满少妇的高潮呻吟声音| 久久久久久久精品成人热小说| 岳打开双腿开始配合交换| H无码里番肉片在线观看的| 国模叶桐尿喷337P人体| 精品国产乱码久久久久蜜桃| 777米奇色狠狠888俺也去乱| 最近中文字幕免费MV视频7| 国产98在线 | 欧美| 初小VIDEOS第一次摘花| 前夫的东西很大和三个人在一起| 50岁熟妇的呻吟声对白| 夜夜躁婷婷AV蜜桃| 亚洲AV中文无码字幕色最| 无码人妻视频一区二区三区| 调教小SAO货撅起打屁股作文| 久久国产热精品波多野结衣AV| 成人精品视频一区二区三区尤物 | 又硬又粗又长又爽免费看 | 亚洲色偷偷综合亚洲AV伊人蜜桃| 亚洲人交乣女BBW| 公的粗大挺进了我的密道| 精品国产乱码久久久久乱码| 熟女人妻少妇精品视频| 国模冰冰大胆瓣开下部| JK白丝极品被CAO到流水呻吟| 亚洲国产精久久久久久久| 日本丰满护士BBW| 五月AV综合AV国产AV| 亚洲成AV人片乱码色午夜| 囗交50个动态图片| 公与淑婷厨房猛烈进出视频| 777久久人妻少妇嫩草AV| AV无码人妻一区二区三区| A级毛片在线观看|